Osram HBO 350W 67.5V 5.3A SFcY10-4

Mikrolithographielampen sind spezielle Lichtquellen, die in der Halbleiter- und Mikrofertigungstechnologie zum Einsatz kommen. Sie werden verwendet, um mithilfe von Photolithographie ultrafeine Strukturen auf Wafern präzise zu belichten.

Der Hauptanwendungsbereich von Mikrolithographielampen liegt in der Produktion von Mikrochips und integrierten Schaltkreisen. Sie sind ein wesentlicher Bestandteil der Photolithographie, bei der Muster auf Halbleitermaterialien projiziert werden.

Diese Lampen erzeugen Licht in einem schmalen Wellenlängenbereich, meistens im UV-Bereich, das auf einen Fotoresist auf dem Wafer fokussiert wird. Das Licht verändert die chemischen Eigenschaften des Fotoresists, sodass die gewünschten Strukturen in den nachfolgenden Prozessen realisiert werden können.

Die Lebensdauer hängt vom Lampentyp ab, liegt jedoch oft zwischen 500 und 2.000 Betriebsstunden. Regelmäßige Wartung und optimale Betriebsbedingungen können dazu beitragen, die Lebensdauer zu verlängern.